并五苯晶体薄膜的生长

SEMICONDUCTOR OPTOELECTRONICS（2002）

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摘要

用物理气相沉积法在水平系统中生长有机半导体并五苯晶体薄膜.用10～30 mg的源生长出20～30 mm2大小的适合特性测量和器件制备的晶体薄膜.利用TEM,SEM和X光透射电镜等仪器对并五苯晶体薄膜进行了测试分析.

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关键词

pentacene crystal thin films,physical vapor growth,thin films

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