一种300万像素全画幅非制冷红外探测器

Yu LI,Guo TAN,Ye SHI,Xin LI, Guohui LIU,Jianhai GUO, Xuan YANG,Yifei DING

Infrared Technology（2019）

Cited 0|Views13

No score

Abstract

研制出一种全画幅QXGA(Quad Extend Graphic Array)非制冷氧化钒红外焦平面探测器.探测器阵列规模达到2048×1536,像元尺寸为17μm×17μm,有效光敏面积约为35 mm×26 mm.读出电路面积达到41.34mm×39.37mm,采用8英寸0.18μm 1P6M一版多曝的缝合拼接曝光工艺设计及加工,电路奇偶行同时积分、读出,有效提高像元积分时间.探测像元采用成熟的17μm氧化钒微桥结构,超大面积MEMS(Micro-Electro-Mechanical Systems)结构采用"多版一曝"、"一版多曝"的组合拼接曝光设计及加工技术.探测器采用高可靠性的标准金属真空封装.测试结果表明,器件的噪声等效温差(NETD)小于45 mK,热响应时间小于7 ms,响应率非均匀性小于8％,器件帧频大于60 Hz.

AI Read Science

Must-Reading Tree

Example

Generate MRT to find the research sequence of this paper

Chat Paper

Summary is being generated by the instructions you defined