应用于振动扫描的碳化硅反射镜设计与分析

针对光电系统中常用的振动扫描反射镜进行了结构设计技术研究.采用碳化硅材料,设计了反射镜的支撑方式,确定了反射镜轻量化孔的形式.使用ANSYS软件对反射镜分别进行了静态和动态面型变化仿真分析,并利用最小二乘法对变形后的反射镜面进行了平面拟合,分析了变形误差.对常用的几种反射膜进行了对比分析.最后对实际使用的反射镜进行了面形检测,实际成像质量表面反射镜可以满足使用要求.