一种基于Matlab的非球面光学元件面形参数测试技术

提出了一种接触式轮廓仪测量非球面参数的新方法，该方法通过在传统的二维接触式轮廓仪基础上增加旋转，从而实现了三维测量。为了验证新方法的测量准确性与可行性，文中使用ZYGO干涉仪对旋转对称球面进行检测，与新方法的检测结果加以对比。最后，使用新方法对非球面光学元件的面形参数进行测试，分析结果表明新的测量方法具备较高的测试精度，满足测量要求。