基于垂直腔面发射激光器的湿法氧化速率研究
Electronics World（2020）
Abstract
本文主要围绕垂直腔面发射激光器(VCSEL)中的湿法氧化工艺开展研究,通过阅读大量相关文献,了解垂直腔面发射激光器的制造工艺,并通过分析设计湿法氧化工艺参数,实现VCSEL芯片湿法氧化速率精确控制的工艺要求.
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