256M/1GDRAM工艺及前道制造设备分析
Electronics World（2020）
摘要
介绍256M/1GDRAM的产品指标、产品制备设备以及具体的发展形势,并结合目前的数字化发展技术,来对热处理金属结构和离子注入设备进行等级分析.基于此,本文主要结合目前256M/1GDRAM具体的设备型号、半导体制备的要求以及高精度的分析模型,探讨有效的技术指标,以提高工艺制造的适应程度,做好集成建设,提高技术领先水平.
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