MEMS加速度计的误差补偿方法

温度误差和非线性误差是影响MEMS加速度计精度、限制其应用领域的两个重要因素.研究了国内外MEMS加速度计误差补偿方法,分析了MEMS加速度计的温度误差和非线性误差来源.为了消除一款50g量程的数字式MEMS加速度计的误差,采用分段线性拟合插值法进行了零偏温度补偿;同时采用基于预测模型的分段插值法对加速度计的非线性误差进行了校正.测试结果表明,经过补偿后,加速度计全温区(-40℃～60℃)零偏变化量从33.95mg提升到了1.02mg,标度因数温度系数从4.205×10-5/℃提升到了0.74×10-6/℃,满量程非线性度从1.010 022×10-2提升到了1.479 9×10-4.该方法算法简单,效果显著,适合于工程应用.