微细电火花加工MEMS器件技术关键分析
MICRONANOELECTRONIC TECHNOLOGY(2005)
摘要
微细电火花加工作为一种低成本、高材料选择度的柔性非接触式加工技术,在微加工中具有独特的工艺优势.本文研究分析了利用微细电火花加工技术制造MEMS微结构、微器件的技术关键及其解决思路.
更多查看译文
关键词
Electrical Discharge Machining,Micromachining,Electrochemical Machining
AI 理解论文
溯源树
样例
![](https://originalfileserver.aminer.cn/sys/aminer/pubs/mrt_preview.jpeg)
生成溯源树,研究论文发展脉络
Chat Paper
正在生成论文摘要