微细电火花加工MEMS器件技术关键分析
MICRONANOELECTRONIC TECHNOLOGY（2005）
摘要
微细电火花加工作为一种低成本、高材料选择度的柔性非接触式加工技术,在微加工中具有独特的工艺优势.本文研究分析了利用微细电火花加工技术制造MEMS微结构、微器件的技术关键及其解决思路.
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关键词
Electrical Discharge Machining,Micromachining,Electrochemical Machining
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