MEMS封装中真空封口及真空度检测技术张丽华,李军,邵崇俭MICRONANOELECTRONIC TECHNOLOGY（2003）引用 0|浏览0暂无评分摘要通过对MEMS封装技术进行研究攻关,突破了针对微机械陀螺仪器件性能发挥所需的真空封口技术及真空度检测技术,使器件品质因数提高将近10倍.更多AI 理解论文溯源树样例生成溯源树，研究论文发展脉络Chat Paper正在生成论文摘要
