微型填充式气相色谱柱的制备

为了分离永久性气体及低碳轻化合物，基于 MEMS 技术，研究制备了一种微型填充式的气相色谱柱。为了增加色谱柱的长度以及深宽比，色谱柱的沟道制备采用了激光刻蚀技术，这种技术可以方便的在玻璃基底上刻蚀出深沟道，这是其他化学腐蚀技术无法比拟的。研制的色谱柱其沟道横截面为1.2 mm（深度）×0.6 mm（宽度），深宽比为2∶1。实验结果表明，这种微型填充柱，具有较大的样品容量，能很好的实现 CO 和 SO2的分离。