用于C波段的薄膜体声波谐振器滤波器

研制了一种工作于C波段的薄膜体声波谐振器(FBAR)滤波器.首先利用FBAR的一维Mason等效电路模型对谐振器进行设计,然后采用实际制作的谐振器模型构成阶梯型结构FBAR滤波器,利用ADS软件对FBAR滤波器进行电路原理图以及版图设计优化.仿真结果表明,滤波器的中心频率为5.5 GHz,中心插损为1.79 dB,1 dB带宽为115 MHz,5.3 GHz处抑制为40.29 dBc,5.7 GHz处抑制为64.32 dBc.采用空气隙结构实现了C波段FBAR滤波器芯片,并采用陶瓷外壳进行气密封装.测试结果显示,滤波器的中心插损为2.19 dB,1 dB带宽为111 MHz,5.3 GHz处抑制为26.88 dBc,5.7 GHz处抑制为60.96 dBc.对测试结果与仿真结果的差异进行了分析.