AlGaAs梁式引线PIN管及其应用

介绍了采用AlGaAs/GaAs异质结材料制作的梁式引线PIN管.该PIN管采用P+ AlGaAs阳极异质结结构,GaAs圆片工艺,采用空气桥工艺连接正负电极引线.研制的PIN管VBR≥90 V,CT≤0.022 pF(VR=5 V,f=1 MHz),Rs≤4.9 Ω(f=470 MHz,IF=20 mA),τ≥5 ns(IF=10 mA).使用该器件制作了W波段的SPST开关,实现在f=91 GHz下,隔离度＞30 dB,插入损耗≤1.4 dB,开关时间≤20.0 ns.