EBCMOS混合型光电探测器研究

Pengxiao XU,Guanghua TANG,Jiaye TANG,Jie YANG,Xinlong CHEN,Weijun ZHONG,Wenjin ZHAO

Optoelectronic Technology（2016）

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摘要

介绍了EBCMOS探测器的工作原理、器件结构与发展历史.详细阐述了EBS增益机理,实现了600倍的EBS增益,并将EBCMOS与几种常见探测器特性进行了深入的对比研究.EBCMOS探测器将真空器件与半导体器件有机结合,融合了真空光电探测器增益高、响应速度快、光谱灵活和半导体器件空间分辨率高、数字化输出、功耗低和成本低等优点.目前已在生物检测、微光夜视、激光雷达等诸多领域取得了广泛的应用.

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