微加工工艺误差对THz折叠波导行波管性能影响

在太赫兹频段，折叠波导慢波结构主要采用微细加工技术完成。讨论了目前折叠波导慢波结构主要的微加工工艺，分析了主要工艺误差包括波导深度、侧壁垂直度对0.41 THz 折叠波导慢波结构高频特性的影响。通过分析比较，a值对折叠波导行波管性能影响很大，需要在工艺中精确控制。在侧壁垂直度为89°范围以内，侧壁垂直度的变化对折叠波导行波管性能影响不大。通过仿真分析，确定了工艺中必须控制加工精确度的工艺步骤，这对0.41 THz 折叠波导行波管的研制有非常重要的意义。