一种热壁LPTEOS设备自动供液系统
Microelectronics（2019）
摘要
介绍了一种自主开发的自动供液系统.该系统适用于多台SVG7000热壁LPTEOS立式炉.详细介绍了系统的结构、原理及动作流程等.与传统的自动供液系统相比,该系统增加了多回路控制,优化了自动供液的时间,可同时控制多台设备,并保持每次运行程序前设备液态源液位一致.对使用该系统前后设备运行的数据进行对比,发现该自动供液系统将立式炉的稳定性提升了10％以上.
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