用于高压ESD防护的高维持电流SCR器件
Electronics and Packaging（2019）
Abstract
静电释放(ESD)是指电荷在两个电势不等的物体之间转移的物理现象,它存在于人们日常工作生活的任意环节.随着集成电路特征尺寸不断减小、集成度不断增高,芯片对ESD也变得越来越敏感.为了用尽可能小的版图面积来实现ESD防护,利用晶闸管结构(SCR)来实现集成电路的ESD防护已成为当下的研究热点.但传统SCR的维持电压和维持电流都很低,若直接将其应用于电源ESD防护则会导致严重的闩锁效应(latch-up).基于高维持电流设计窗口,提出一种可用于15V电路的抗闩锁SCR器件,并通过混合仿真验证了该器件的有效性.
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