LTCC集成电阻的精细控制

低温共烧陶瓷（Low Temperature Co-fire Ceramic——LTCC）技术，具有可集成无源电阻的独特优势。LTCC基板集成电阻主要有两种方式，表层电阻和内埋电阻。主要讨论了LTCC基板内埋电阻的制备工艺。针对不同的电阻材料，设计了不同工艺。最终为不同电阻的制备提出了一种优化的工艺，使得LTCC内埋电阻的精度控制范围可达到±17%。