新型多元胞结构2BT100固体放电管设计与工艺
MICROELECTRONIC TECHNOLOGY（2002）
Abstract
本文简要阐述了新型半导体器件2BT100固体放电管的研制,在设计上采取了多元胞结构,在制作上采用了双面扩散技术,提供了一些工艺过程,给出了一些测试数据.
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