Ka波段在线自检测MEMS微波功分器的设计与优化
Chinese Journal of Sensors and Actuators（2020）
Abstract
提出了一种基于MEMS技术,由MEMS微波功分器和在线式MEMS微波功率传感器组成的在线自检测MEMS微波功分器,实现了MEMS微波功分器在Ka波段的实时在线功率自检测.MEMS微波功分器为T型功率等分功分器,由共面波导、圆形的不对称共面带线和空气桥构成,三个端口处分别放置三个相同的在线式MEMS微波功率传感器用于端口处信号功率的实时监测.该结构基于GaAs MMIC工艺,它可以与GaAs微波电路实现单片集成.通过ADS和HFSS软件的协同仿真,在中心频率34 GHz处,回波损耗S11小于-30 dB,插入损耗S21(S31)约为-4.7 dB.在26 GHz～40 GHz的频率范围内,S11约小于-15 dB,隔离度S23小于-15 dB.
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