硅(100)晶面各向异性腐蚀的凸角补偿方法

Transducer and Microsystem Technologies（2019）

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摘要

针对单晶硅(100)晶面在氢氧化钾(KOH)腐蚀液中各向异性腐蚀时的削角问题,进行了一项凸角补偿实验.通过不同尺寸与形状组合的〈110〉条形补偿结构,对长方形凸台进行补偿,最终获取具有期望效果的补偿结构.该方法应用于压力传感器芯片的过载保护结构设计.

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