双工件台回转交换的同步控制系统设计
Techniques of Automation and Applications（2016）
摘要
在目前普遍应用的步进扫描投影式光刻机中,工件台技术是光刻机的核心技术之一.为了实现双工件台交换的关键步骤—转台齿轮同步调向,提出了一种基于DSP和FPGA公自转同步调向交换双工件台的控制系统设计和实现方法.基于转台齿轮同步调向的双工件台回转交换方法与硬件装置,以TI公司型号为TMS320C6414的DSP为控制器,Altera公司型号为E P2S60F 102014N的FPGA作为可编程逻辑器件,定义了通信协议,设计了信号采集装置,完成了基于PID的控制系统和算法的规划.在本文详细介绍了该控制系统的三相异步电机执行机构、传感器模块、信号处理模块、运动控制模块等方面的设计,最终通过实验,证明该系统可靠、稳定,能够达到预定的换台指标.
更多AI 理解论文
溯源树
样例
生成溯源树，研究论文发展脉络
Chat Paper
正在生成论文摘要