基于等离子体光谱的反应磁控溅射镀膜控制系统
Automation & Information Engineering(2017)
Abstract
为实现精确、稳定、快速的反应溅射镀膜工艺,降低成本,提高品质,设计基于等离子体光谱的反应溅射镀膜控制系统.通过监控反应溅射镀膜过程中等离子体的发射光谱,采用PID算法控制,实时闭环调节反应气体流量.
MoreAI Read Science
Must-Reading Tree
Example
![](https://originalfileserver.aminer.cn/sys/aminer/pubs/mrt_preview.jpeg)
Generate MRT to find the research sequence of this paper
Chat Paper
Summary is being generated by the instructions you defined