AlN晶体生长的模糊自适应压力控制系统研究
ShuZiHua YongHu（2018）
摘要
本文研究了一种AlN单晶生长的压力控制系统,系统主要包括真空腔室、真空泵、压力传感器、控压仪表、碟阀、PLC模块、上位机模块.其中PLC、控压仪表、上位机以Modbus通讯的方式进行数据交换,上位机中的模糊自适应PID算法实时控制真空腔室和真空泵之间的碟阀开启比例.上述系统可以为AlN晶体生长工艺提供稳定可靠的大范围的压力控制.
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