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热压印光刻胶的研究进展

Xin-sheng DU, Shu-han QI

Adhesion(2016)

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摘要
综述了热压印光刻胶的主要分类,重点介绍了热固性光刻胶和热塑性光刻胶的研究进展,并介绍了2种光刻胶的应用情况,最后指出热压印光刻胶今后的发展方向。
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