PVP对还原氮化法合成氮化铌薄膜结构与性能影响研究
Jiangsu Ceramics（2020）
摘要
本文以五氯化铌为前驱体原料,以无水乙醇为氧供体,首先通过溶胶-凝胶法制备出五氧化二铌溶胶,引入成膜助剂PVP得到镀膜溶液,在石英基片上镀膜制备出前驱体薄膜,利用还原氮化技术合成出氮化铌薄膜.利用XRD、SEM和UV-VIS-NIR和四探针测试仪等测试手段,研究了PVP分子量及其用量对氮化铌薄膜微观结构及性能的影响.结果 表明:当PVP用量为0.5 g,分子量为130万时,薄膜中物相为Nb4N5,薄膜基本无开裂,表面光滑,在250～550 nm范围内有一个明显的透过带,可见光透过率较大,方块电阻为500 Q/口.
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