创造高端技术装备研发的“神话”——中国建材总院推进高精密碳化硅陶瓷在IC装备制造业的新应用纪实
China Building Materials Science & Technology（2016）
摘要
装备制造业是制造业的核心组成部分,在某种意义上装备的先进程度可以代表整个国家的工业发展水平,因此建立强大的装备制造业是提高我国综合国力的途径之一.随着加工技术的进步,精密陶瓷作为第三代新兴材料,已经被引入到各种装备之中,充当着重要的角色,这为精密陶瓷的应用提供了广阔的用武之地,但与此同时,它对材料的性能及加工技术都提出了更加苛刻的要求.当前中国建筑材料科学研究总院已打破欧美等发达国家的技术垄断,推进高精密碳化硅陶瓷在IC装备制造业的新应用.
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