真空紫外辐照引起的聚合物材料质量损失模型及实验验证

基于扩散理论及辐射化学反应理论，建立真空紫外（VUV）辐照引起的聚合物材料质量损失数学模型。采用分离变量法与特征函数展开法，获得材料中挥发物质量随辐照剂量变化的函数关系式。通过实验得到聚酰亚胺（PI）薄膜和聚酯（PET）薄膜的质量损失数据，拟合求解模型中的参数，验证模型的适用性。实验结果表明，该质量损失模型适用于 PI 薄膜及 PET 薄膜，借助该模型可预估 VUV 辐照引起的材料的质量损失。