刮板细度计示值误差非接触自动校准装置

Metrology & Measurement Technology(2019)

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摘要
采用光谱共焦传感器以及激光位移传感器相互配合的设计方式,研制一套新型刮板细度计示值误差非接触自动校准装置.利用光谱共焦传感器测量光点可小至5μm的优点,实现对刮板细度计测量点的精准定位,同时避免了接触测量造成测头及测量面磨损的问题.经实验证明,该装置测量重复性好、 效率高,测量结果准确可靠,具有重要技术推广价值.
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