基于压电陶瓷的大振幅振动台研究
Metrology & Measurement Technology（2016）
摘要
为实现对高频大振幅传感器的校准,研制了一种基于压电陶瓷的大振幅振动台.用PZT8材料的压电陶瓷片堆叠作为动元件,用功率放大器、 电感箱和压电陶瓷片堆叠构成的LC谐振电路,对信号源输出信号进行功率和电压放大,驱动压电陶瓷堆叠振动.该振动台可以实现很小失真的振动,工作频率范围2~5 kHz,振幅最大可达到7μm,失真度小于5%.
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