可调姿态一维运动平台
Metrology & Measurement Technology（2015）
Abstract
使用"大范围纳米测量机"进行扫描测量时, 要求被测样品的空间姿态相对测量坐标系稳定, 因此需要样品姿态小范围内动态可调. 本文提供一种姿态可调的一维运动平台解决方案: 利用四个压电陶瓷电机驱动空间上均布的四个丝杠, 通过柔性连接器共同推动运动平台. 压电陶瓷电机的协调运动可以实现运动平台的大范围升降运动及小范围姿态调整, 其自保持能力可以减小驱动部件发热对纳米级测量的影响; 四点过定位支撑利于简化控制模型, 还可提高工作台的稳定性.
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