高纯气体中微量或痕量杂质的分析方法

随着工业产能的不断释放,高纯气体的纯度与产品的质量之间的关系逐渐凸显,引起了科研工作者的广泛关注,因此高纯气体中微量或痕量杂质的分析测定是一个重要的问题.本文介绍了用于高纯气体中微量或痕量杂质的四类分析方法:通用的气相色谱法,特别强调了氦离子化检测器和脉冲放电氦离子化检测器的重要性;痕量水的测定;痕量氧的测定;气相色谱-质谱联用.