隔热笼开度对高效多晶硅定向凝固的影响

Foundry Technology（2018）

引用 0|浏览3

暂无评分

摘要

采用高效多晶半熔工艺,实验对比了隔热笼开度为2 cm 和8 cm 两种工艺下的籽晶界面保留及硅锭内部硬质点和少子寿命的分布.结果表明,采用隔热笼开度为8 cm 工艺,避免了硅料熔化过程中坩埚底部籽晶熔化而导致引晶效果不佳的问题,保证了硅锭较高的效率.

查看译文

AI 理解论文

溯源树

样例

生成溯源树，研究论文发展脉络

Chat Paper

正在生成论文摘要