多晶制绒刻蚀深度对电池片转化效率的影响

采用 HF、HNO3和纯水的混合溶液对多晶硅片进行表面酸腐蚀绒面制备。实验通过调整制绒设备滚轮转速来控制刻蚀深度，制备出深度分别为3.2μm、3.5μm 和3.8μm 的电池硅片，然后进行相同的电池生产工序，制备出生产用电池片。对比制绒微观形貌和电学性能参数，结果显示：在片源、电池生产实验工艺参数相同，制绒刻蚀深度为3.5μm 时，制备出的绒面微观腐蚀坑均匀致密，电池转换效率最优。