Improving Transport Properties of GaN-Based HEMT on Si (111) by Controlling SiH4 Flow Rate of the SiNx Nano-Mask
COATINGS（2021）
关键词
GaN HEMT,SiNx nano-mask,edge threading dislocation,V-defects,2DEG
AI 理解论文
溯源树
样例
生成溯源树，研究论文发展脉络
Chat Paper
正在生成论文摘要
COATINGS（2021）