"日盲"紫外微通道板型光电倍增管研究

Shuguang SI,Muchun JIN,Xingchao WANG,Guorui HUANG,Zhen JIN,Haiyang XU,Kai WU, Ning WANG, Zhiyao HUANG,Jianning SUN,Ling REN,Shen LI,Mengyao SHI,Haoda ZHANG,Yiqi CAO,Wei HOU,Ying GU,Min ZHAO,Hao YE, Sichen TANG

Information Technology（2020）

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摘要

"日盲"紫外光电倍增管是紫外光通信和核辐射探测的关键器件,具有高辐射灵敏度、高增益、高分辨率、低噪声等特点.因此,紫外光电倍增管一直是国内外真空器件的重要研究领域.本文从结构设计、阴极制备、微通道板和整管封接4方面介绍了北方夜视研制的"日盲"紫外光电倍增管.采用的是MgF2光窗上蒸镀有效面积为φ18 mm的Cs2Te光电阴极,通过增透技术使得250 nm处的辐射灵敏度从22 mA/W提高到26.5 mA/W;利用电子光学仿真得到信号上升时间小于500 ps,TTS优于0.1 ns的结构;采用结构优化和原子沉积技术使得微通道板增益达到5×106;采用玻璃/Cr/Cu/Ag多层金属薄膜热铟封接技术,可将整管铟封合格率提升至97％.

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