Structure and Luminescence Properties of Eu3+ and Dy3+ Co-implanted AlN Films

Acta Photonica Sinica(2020)

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摘要
采用离子注入方法在氢化物气相外延法生长的AlN薄膜中注入了不同剂量的Dy3+和Eu3+,制备了Dy3+单掺、Dy3+和Eu3+共掺的AlN样品.对于Dy3+单掺杂AlN样品,X射线衍射和拉曼散射实验结果表明随着Dy注入剂量的增加,样品的压应力也增加,形成了比较明显的损伤层;但当注入剂量由5×1014 at/cm2增加至1×1015 at/cm2时,压应力增加不明显,接近于饱和.对于Dy3+和Eu3+共掺的AlN样品,阴极荧光实验表明,AlN中Eu3+和Dy3+之间可能存在能量传递,能量传递途径为在声子辅助下从Dy3+的4F9/2→6H15/2至Eu3+的7F0→5D2的共振能量传递.此外,计算发现改变Dy3+和Eu3+离子的注入剂量比能实现发光色度坐标和色温的有效调控.
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关键词
Optoelectronics, Aluminum nitride, Europium, Dysprosium, Strain, Cathodoluminescence, Energy transfer
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