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基于小波变换的平板波前死条纹噪声滤除方法

徐凯源 Xu Kaiyuan,李大海 Li Dahai,刘昂 Liu Ang,柴立群 Chai Liqun,何宇航 He Yuhang, 陈宁 Chen Ning

CHINESE JOURNAL OF LASERS-ZHONGGUO JIGUANG（2020）

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Abstract
高功率激光器的建造需要大量的高精度光学平板,其波前检测一般采用相移干涉技术.由于测试光在光学平板内的多次反射,存在由寄生干涉导致的死条纹现象.死条纹会在波前检测结果中引入周期性相位噪声,极大降低了波前检测结果的置信度.针对该问题,提出了一种基于小波变换的降噪方法,可根据死条纹噪声特征对波前检测结果进行降噪,不需要额外硬件或调整测试状态.实验结果表明,该方法可以有效滤除死条纹引入的相位噪声,且能很好地保留加工特征.
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Key words
measurement and metrology, interferometry, parasitic interference, fixed pattern, wavelet transform, optical window
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