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Potential modulation observed from ALD-ZrO 2 /TiO 2 /SiO 2 MOS structures

Shutaro Asanuma, Kyoko Sumita,Yusuke Miyaguchi, Kazumasa Horita,Takehito Jimbo,Kazuya Saito,Noriyuki Miyata

The Japan Society of Applied Physics（2020）

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