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A High-Power Ka-band RF-MEMS 2-Bit Phase Shifter on Sapphire Substrate

B. Belenger,B. Espana,S. Courreges, P. Blondy,O. Vendier,D. Langrez,J. -L. Cazaux

2011 6TH EUROPEAN MICROWAVE INTEGRATED CIRCUIT CONFERENCE（2011）

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关键词
Microelectromechanical systems (MEMS),phase-shifters,switches,high-power
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