铝基微结构光栅几何参数反演
Beijing Hangkong Hangtian Daxue xuebao（2017）
关键词
inverse estimation of grating structure,stochastic particle swarm optimization (SPSO)algo-rithm,rigorous coupled wave analysis (RCWA)algorithm,spectral reflectance,radiative property
AI 理解论文
溯源树
样例
生成溯源树，研究论文发展脉络
Chat Paper
正在生成论文摘要