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Downsizing and Silicon Integration of Photoacoustic Gas Cells

A. Glière,P. Barritault,A. Berthelot,C. Constancias,J.-G. Coutard,B. Desloges,L. Duraffourg,J.-M. Fedeli, M. Garcia,O. Lartigue,H. Lhermet,A. Marchant,J. Rouxel, J. Skubich,A. Teulle,T. Verdot,S. Nicoletti

International journal of thermophysics（2020）

引用 15|浏览89
关键词
MEMS,Photoacoustic spectroscopy,Silicon integration,Trace gas measurements
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