酒精蒸汽激光检测系统滤光器件的研制

Fu Xiuhua,Wang Ye,Liu Dongmei,Zhang Jing,Zhang Gong,Lu Cheng

CHINESE JOURNAL OF LASERS-ZHONGGUO JIGUANG（2019）

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摘要

为提高酒精检测系统的信噪比,根据比尔-朗伯定律确定双通窄带滤光片的技术参数;根据技术参数在Si基底上采用双面拆分法设计窄带滤光片,建立折射率渐变模型确定反演系数,实现膜层的准确控制.采用真空室原位退火法提高膜层聚集密度,降低膜层应力,进而提高膜层附着力,稳定膜层光谱性能;制备的膜层能够满足在(1392±10) nm和1530～1570 nm波段透射率大于90％,400～1350 nm和1600～1800 nm波段透射率小于1％,在1410～1515 nm波段透射率小于30％的要求.

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关键词

optical devices, optical films, dual-pass filter film, film layer sensitivity, film stress

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