表面改性多孔二氧化硅减反膜的稳定性研究
ACTA OPTICA SINICA（2019）
摘要
以正硅酸乙酯为原料,采用溶胶-凝胶法制备SiO2溶胶,通过提拉法涂制多孔SiO2减反膜,并在多孔SiO2减反膜上涂制一层甲基三乙氧基硅烷(MTES)预聚体.通过疏水的MTES预聚体涂制在多孔SiO2减反膜上,对多孔SiO2减反膜的表面进行改性,以提高膜层的环境稳定性.经过表面改性的复合膜层的透过率峰值可达99.67％,折射率为1.231,水接触角达123.6°,在相对湿度为95％的环境中放置475 d后膜层的峰值透过率为99.09％,稳定性提高明显.膜层表面平整,激光损伤阈值约为24.5 J/cm2.
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关键词
material, thin film, antireflection coating, sol-gel method, stability
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