高速小型复合分子泵可靠性建模与故障分析

根据高速小型复合分子泵的特点,建立了复合分子泵可靠性模型,基于专家评分法对其可靠性指标进行了分配,使得各单元分系统的平均故障间隔时间MTBF值更加符合整机可靠性的实际要求。基于复合分子泵可靠性模型,完成了故障树模型建立及分析,发现了其薄弱环节,为高速小型复合分子泵的结构优化和可靠性增长奠定基础。