光刻机工件台控制系统存储扩展的设计与实现

为了满足光刻机工件台控制系统储存大量控制算法函数以及重要数据参数的要求,在分析了工件台控制系统主控模块的基础上,提出了一种以运动控制卡为主导的存储扩展方法 ,分别对FPGA和DSP进行了存储扩展设计,实现了工件台控制系统程序与数据的固化。最后,对FLASH的自启动进行了研究,介绍了一种通过自己编写的FLASH程序以及搬运程序实现DSP上电自启动的方法 ,成功验证了存储扩展设计的正确性,并在实际的工件台控制系统中得到了应用。