基于棱镜结构的双波长M-Z干涉系统设计
Journal of Applied Optics（2018）
摘要
为了便于光程差的调节,利用全反射棱镜结构改进了传统的M-Z干涉系统,并建立了基于双波长干涉原理的M-Z测量系统理论模型.利用Zemax建立了完整的光学系统模型,对整个系统进行仿真分析测试.系统像质评价结果表明:532 nm～632.8 nm波段范围内系统的能量集中度达85％、畸变值小于0.02％、截止频率10 lp/mm时调制传递函数在0.9以上,满足对透射型试样进行测量的成像要求,为高性能干涉系统实用化提供了理论依据和技术支持.
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