静态傅里叶变换光谱仪的微阶梯反射镜设计及制作
Journal of Applied Optics（2017）
Abstract
静态傅里叶变换光谱仪的反射镜采取微阶梯反射镜,使光谱仪可在无需空间驱动装置的前提下实现空域上各级次的同时采样.通过理论研究和对测试数据的对比分析,确定使用楔形玻璃条制作微阶梯反射镜.此方法采用常规光学零件加工工艺制作1个楔形玻璃块和10个楔形玻璃条,然后按序选取楔形玻璃条,并逐一光胶在楔形玻璃块的斜面上,且相邻楔形玻璃条的接触面用紫外胶固连;水平方向反复推动相邻后一个楔形玻璃条直到检测仪器测量出相邻楔形玻璃条的阶梯厚度差达到要求为止;用紫外灯固化紫外胶;重复以上步骤制作出所需台阶数目的微阶梯反射镜.和别的制作方法相比,此方法安全性和可行性高,而且具有一致性、台阶厚度可控特点,可制作出台阶高度误差为0.124 μm、表面粗糙度为12 nm的微阶梯反射镜,达到系统设计要求.
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Key words
static Fourier transform spectormeter,Michelson interferometer,micro step mirror,wedge glass strip
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