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Ni_1 xPt_xに関する第2回アニーリング段階の影響:Si膜の熱安定性【Powered by NICT】

X. Pages,Robert Binder, K. Vanormelingen,M. Smits, Ernst Hendrik August Granneman, M. Weisheit, Kornelia Dittmar,S. Jansen, J. Rinderknecht

Microelectronic Engineering（2017）

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