同時応用特集壁コーティングと2周波数加熱によるE CRイオン源における高電荷状態イオンの産生増強【Powered by NICT】L Schachter,K E Stiebing,S DobrescuIEEE Transactions on Plasma Science(2016)引用 23|浏览11暂无评分关键词nict】AI 理解论文溯源树样例生成溯源树,研究论文发展脉络Chat Paper正在生成论文摘要