硅压力传感器的可靠性试验方法及失效分析

通过对一种特定结构的硅压力传感器进行动态综合应力寿命试验,探讨了硅压力传感器的可靠性实验方法;并对失效样品进行了解剖分析，研究了它在温度、电压和压力共同作用下的失效机理，分析了产品设计、工艺与可靠性的关系，提出了相应的改进措施。